Карактеристике:

1) Брзина нитрирања је већа, циклус нитрирања се може скратити на одговарајући начин, а време јонског нитрирања се може скратити на 1/3-2/3 времена гасног нитрирања.

2) Кртост слоја нитрирања је мала, а бели слој формиран на површини плазма нитрирања је веома танак, или га чак нема. Поред тога, деформација изазвана слојем нитрирања је мала, што је посебно погодно за прецизне делове сложених облика.

3) Може се уштедети потрошња енергије и амонијака. Потрошња електричне енергије је 1/2-1/5 код гасног нитрирања, а потрошња амонијака је 1/5-1/20 код гасног нитрирања.

4) Лако је остварити локално нитрирање, све док део који не жели нитрирање не производи сјај, део који се не нитрира је лако заштитити, а сјај се може заштитити механичком заштитом и гвозденом плочом.

5) Јонско бомбардовање може пречистити површину и аутоматски уклонити пасивациони филм. Нерђајући челик и челик отпорни на топлоту могу се директно нитрирати без претходног уклањања пасивационог филма.

6) Структура сложеног слоја, дебљина и структура инфилтрационог слоја могу се контролисати.

7) Опсег температуре обраде је широк, а одређена дебљина нитридирајућег слоја може се постићи чак и испод 350 °C.

8) Услови рада су побољшани. Обрада плазма нитрирањем без загађења се врши под веома ниским притиском са врло мало издувних гасова. Извор гаса је азот, водоник и амонијак и у основи се не производе штетне материје.

9) Може се применити на све врсте материјала, укључујући нерђајући челик, топлотно отпорни челик са високом температуром нитрирања, алатни челик и прецизне делове са ниском температуром нитрирања, док је нитрирање на ниској температури прилично тешко за гасну нитрацију.