Радна теорија：

Претходним пумпањем пећи до вакуума, а затим загревањем до подешене температуре, надувати амонијак за процес нитрирања, затим поново пумпати и надувати, након неколико циклуса да би се достигла циљана дубина нитрида.

Предности:

Упоредите са традиционалним гасним нитрирањем. Захваљујући активности металне површине у вакуумском загревању, вакуумско нитрирање има бољи адсорпциони капацитет, што омогућава краће време процеса и већу тврдоћу.прецизанконтрола, мања потрошња гаса, гушћи слој белог једињења.